多晶硅定向凝固过程中金属杂质的分凝及去除研究

多晶硅定向凝固过程中金属杂质的分凝及去除研究多晶硅定向凝固过程中金属杂质的分凝及去除研究摘要：多晶硅是一种重要的材料，广泛应用于太阳能电池、集成电路及其他微电子器件的制备过程中。多晶硅中的金属杂质对其