磁控溅射掺铝氧化锌(AZO)薄膜及其在多晶硅太阳电池上的应用

磁控溅射掺铝氧化锌(AZO)薄膜及其在多晶硅太阳电池上的应用一、引言多晶硅太阳电池是当前较为成熟的一种太阳能电池，其制备工艺简单，成本低廉，效率较高，可以广泛应用于各种场合，已成为了太阳能行业的主流产