集成电路工艺考试题

一、名词解释（1）化学气相沉积：化学气体或蒸气和晶圆表面的固体产生反应，在表面上以薄膜形式产生固态的副产品，其它的副产品是挥发性的会从表面离开。（2）物理气相沉积：“物理气相沉积” 通常指满意下面三个