分子束外延技术MBE的原理及其制备先进材料的研究进展

分子束外延技术（MBE）的原理及其制备先进材料的研究进展XX（XXXX大学材料学院，西安 710000）摘要：分子束外延(MBE)是50年代用真空蒸发技术制备半导体薄膜材料发展而来的,是为了满足在电子