高陡度保形光学非球面环形子孔径检测方法

高陡度保形光学非球面环形子孔径检测方法摘要：本文采用高陡度保形光学非球面环形子孔径检测方法，旨在对非球面环形子孔径进行定量测量，实现检测精度的提升。本文首先分析了非球面环形子孔径检测的需求和困难，详细