还原氮化法制备氮化铌薄膜及性能研究
还原氮化法制备氮化铌薄膜及性能研究摘要:本文采用还原氮化法制备氮化铌(NbN)薄膜,并对其性能进行了研究。首先,对实验方法和样品制备工艺进行了详细阐述,然后进行了样品的表征和分析。最后,分析了NbN薄
还原氮化法制备氮化铌薄膜及性能研究