东北大学真空镀膜技术培训PVD物理气相沉积

- - 真空技术讲义真空镀膜(一)PVD物理气相沉积与流体主讲人:巴德纯经作者授权,版权所有归东北大学真空与流体工程研究中心与原作者共有。未经本中心及原著者同意任何人或任何单位