基于电荷平衡的槽型超结LDMOS新结构研究

基于电荷平衡的槽型超结LDMOS新结构研究基于电荷平衡的槽型超结LDMOS新结构研究摘要随着半导体器件的不断发展，功率器件在各个领域中的应用越来越广泛。槽型超结LDMOS器件作为一种高压、低电阻、高开