互补金属氧化物-半导体和MEMS传感器的异质集成

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 CN 113767063 A(43)申请公布日 2021.12.07(21)申请号 202080027511 .6(22)申