无掩膜流动刻蚀技术研究

无掩膜流动刻蚀技术研究摘要刻蚀技术作为一个重要的微纳加工技术，在微观领域和光学制造领域应用广泛。本文主要介绍了一种新的刻蚀技术——无掩膜流动刻蚀技术。该技术不需要掩膜，能够直接在样品表面进行刻蚀，大大