双质量硅微陀螺仪温度特性研究的开题报告

双质量硅微陀螺仪温度特性研究的开题报告1. 研究背景微机电系统(MEMS)在惯性导航、飞行控制、姿态测量等领域有着广泛的应用。双质量硅微陀螺仪是MEMS惯性传感器的一种重要形式，具有体积小、重量轻、灵