XRD研究Fe、C掺杂对He离子注入Al表面晶格畸变的影响

XRD研究Fe、C掺杂对He离子注入Al表面晶格畸变的影响引言离子注入是一种重要的材料改性方法，能够在表面形成一定的畸变和缺陷，从而改变材料的物理和化学性质。其中，氦离子注入是最受关注的一种，因为氦是