微纳结构与器件加工：光学光刻技术

Chap.3微纳结构与器件加工技术随着当今功能元器件的微型化与集成化的开展 趋势，各种微纳结构及其相应的制备加工技术与工 艺手段，获得迅速开展与不断完善。在薄膜制备技术的根底上，外表微纳加工技术 是器