离子注入法介绍 PPT

- 离子注入法介绍 - ■ 概述■ 离子注入工艺设备及其原理■ 射程与入射离子的分布■ 实际的入射离子分布问题■ 注入损伤与退火■ 离子注入工艺的优势与限制