三维微触觉MEMS传感器测试校准的方法与系统

三维微触觉MEMS传感器测试校准的方法与系统三维微触觉MEMS传感器测试校准的方法与系统 第19卷第5期 2006年10月 传感技术学报 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUA