金属微器件制作及超声提高铸层结合力的研究的开题报告

金属微器件制作及超声提高铸层结合力的研究的开题报告一、研究背景和意义：随着微电子技术的不断发展，越来越多的微型器件需要使用金属作为制作材料。然而，金属微器件制作的过程中，常常存在着铸层结合力不够的问题