氟掺杂SiCOH薄膜沉积的等离子体化学特性研究的综述报告

氟掺杂SiCOH薄膜沉积的等离子体化学特性研究的综述报告氟掺杂SiCOH薄膜是一种常用于微电子制造中的关键材料，其具有优异的机械性能、热稳定性以及低介电常数等特点。然而，氟的掺杂对SiCOH薄膜的化学