MEMS加工技术及其工艺设备

MEMS加工技术及其工艺设备童志义摘要：微电子机械和纳米技术的研究覆盖了亚微米到纳米尺寸的特征范围，它主要依靠光刻和图形转换设备和工艺获得，但又不仅限于半导体加工范畴。光学光刻设备、感应耦合等离子体刻