Zr基块体非晶合金微通道阵列过冷液相区压印工艺

Zr基块体非晶合金微通道阵列过冷液相区压印工艺Zr基块体非晶合金微通道阵列过冷液相区压印工艺概述块体非晶合金是一种具有高度玻璃态形态稳定性和良好机械性能的金属材料，具有广泛的应用潜力。微通道阵列技术是

Zr 基块体非晶合金微通道阵列过冷液相区压印 工艺 Zr基块体非晶合金微通道阵列过冷液相区压印工艺 概述 块体非晶合金是一种具有高度玻璃态形态稳定性和良好机 械性能的金属材料，具有广泛的应用潜力。微通道阵列技术是 利用微小尺度特征的加工方法，可以制造出高度集成化的微流 控芯片，广泛应用于生物、化学、医药等领域。本文探讨了一 种将块体非晶合金与微通道阵列相结合的技术——过冷液相区 压印工艺。具体地，本文研究了Zr基块体非晶合金的制备、微 通道阵列模板的制造及过冷液相区压印工艺对其结构及机械性 能的影响。 制备 本文选用Zr-Cu-Al-Ni基块体非晶合金作为实验对象。该 合金具有结晶温度较高的特点，难以通过热处理实现晶态组 织。因此，本文采用注射成型法制备包含不同体积分数铜、 铝、镍元素的非晶合金圆柱样品，制备过程中对合金进行定压 注射，并在室温下自然冷却。通过调整元素体积分数，可以制 备出不同组成的块体非晶合金。 微通道阵列模板制备 微通道阵列模板制备采用光刻和腐蚀工艺，制备出具有 400nm宽度、800nm深度和10μm间距的微通道阵列模