容性耦合等离子体的电磁效应及相关问题的理论研究和数值模拟的开题报告

容性耦合等离子体的电磁效应及相关问题的理论研究和数值模拟的开题报告一、研究背景及意义容性耦合等离子体（Capacitively Coupled Plasma，CCP）是一种产生等离子体的重要方式，在半