基于预处理衬底GaN外延生长及器件研究的任务书

基于预处理衬底GaN外延生长及器件研究的任务书任务书一、选题背景随着信息产业和电子科技的不断发展，固态照明、催化剂、超高速削弱器等新型器件对材料和工艺的要求越来越高，这也促进了半导体材料和器件技术的不