离子注入技术

-----WORD格式--可编写--专业资料-----离子注入技术纲要离子注入技术是现在半导体行业对半导体进行混杂的最主要方法。本文从对该技术的基来源理、基本仪器构造以及一些详细工艺等角度做了较为详尽