减小桥式微操作平台温度效应的参数与构型优化设计

减小桥式微操作平台温度效应的参数与构型优化设计随着科技的发展，桥式微操作平台被广泛应用于微纳加工领域。由于微纳加工涉及到高精度的运动控制，因此平台温度效应成为影响其运行稳定性和精准度的主要因素之一。本