硅片技术标准

单晶硅片技术标准1范围1.1 本要求规定了单晶硅片的分类、技术要求、包装以及检验标准等1.2 本要求适用于单晶硅片的采购及其检验。2 标准性引用文件2.1 ASTM F42-02    半导体材料导电