半导体制造工艺之硅的氧化概述(powerpoint 62页)

- 第三章 硅的 氧化 - 绪论SiO2的结构和性质SiO2的掩蔽作用硅的热氧化生长动力学决定氧化速度常数和影响氧化速率的各种因素热氧化过程中的杂质再分布初始氧化阶段以及薄