光刻机操作手册

前准备更换手套记录表上签字电源启动开启总电源，气体，真空。打开N2气。打开曝光照射器（CIC1200）打开持续光强控制器（CIC）.显示软件启动CIC执行自我校准检验，显示ready按下CP（恒定电源