MEMS陀螺仪在消费电子中的应用

MEMS陀螺仪在消费电子中的应用xxxx（上海大学 机电工程与自动化学院，上海200072）摘要：MEMS陀螺仪是MEMS器件中非常重要的一类器件。它的研究已经从单纯的航空领域逐渐转向汽车、消费电子行