基于白光干涉法测量微光栅形貌及相关几何参量的研究

基于白光干涉法测量微光栅形貌及相关几何参量的研究 摘要:基于显微白光干涉术,利用扫描干涉显微镜对四台阶面阵微光栅记录了128幅白光干涉图,并分别运用重心法、空间频域算法、移相算法及包络曲线拟合法对扫描