硅化学机械抛光液的研究的综述报告

硅化学机械抛光液的研究的综述报告硅化学机械抛光液是利用化学反应作用和机械磨损结合的一种材料表面精密处理技术。硅化学机械抛光液制备的物质表面光洁度高、平整度好、机械强度也得到显著提高，同时还可以使得样品