金属掺杂氮化钨薄膜的制备及其特性研究

金属掺杂氮化钨薄膜的制备及其特性研究金属掺杂氮化钨薄膜的制备及其特性研究摘要：随着电子技术的飞速发展，对高性能材料的需求也越来越迫切。本文以金属掺杂氮化钨薄膜为研究对象，通过不同方法制备金属掺杂氮化钨