微波ECR等离子体探针检测的研究与设计的中期报告

微波ECR等离子体探针检测的研究与设计的中期报告中期报告一、项目背景微波电子回旋共振(ECR)等离子体是一种重要的等离子体体系，具有高密度、高温度等特点，广泛应用于医学、化学和半导体工业等领域。在等离