图案化基板如何提高LED光提取效率

图案化基板如何提高LED光提取效率？图案化基板，简称PSS(PatternedSapphireSubstrate)，俗称图形化衬底，也就是在蓝宝石衬底上生长干法刻蚀用掩膜，用标准的光刻工艺将掩膜刻出图