椭偏测量原理

椭偏法测量薄膜厚度和折射率的研究引言在近代科学技术和日常生活中，各种薄膜的应用日益广泛。因此，能够迅速和精确 地测量薄膜参数是非常重要的。在实际工作中可以利用各种传统的方法测定薄膜光学参数，如：布儒斯