Al掺杂4H-SiC第一性原理计算及二次离子质谱分析

Al掺杂4H-SiC第一性原理计算及二次离子质谱分析Al掺杂4H-SiC的第一性原理计算与二次离子质谱分析摘要：近年来，4H-SiC材料因其优异的物理和化学性质而成为半导体器件领域的研究热点。本文利用