基于微型球支撑的MEMS发电机的任务书

基于微型球支撑的MEMS发电机的任务书一、项目背景和研究意义随着科技的不断发展，微电子机械系统（MEMS）作为一种先进的微纳米技术，已经在生产、通信以及医疗等领域得到广泛应用。其中，微型发电机作为ME