第三章微机械制造技术-微机电系统技术基础ppt课件

- 第三章微机械制造技术 - 概述 微机电系统的整体尺寸都比较的小，最小尺寸达到微米到亚微米，甚至达到纳米，特征尺寸如此小的元器件，不能采用传统的精密机械制造方法