硅基微型静电谐振式直流电场传感器建模与仿真分析

硅基微型静电谐振式直流电场传感器建模与仿真分析硅基微型静电谐振式直流电场传感器建模与仿真分析摘要：随着电子技术的快速发展，对微型传感器的需求不断增加。硅基微型静电谐振式直流电场传感器是一种常见的微型传