基于时间控厚离子束溅射技术的宽带减反膜制备

基于时间控厚离子束溅射技术的宽带减反膜制备基于时间控厚离子束溅射技术的宽带减反膜制备Abstract：本文研究了基于时间控厚离子束溅射技术的宽带减反膜制备方法及性能表征，通过搭建实验平台，实现了减反膜