精编微电子封装金丝倒装键合的微织构研究论文

微电子封装金丝倒装键合的微织构研究论文【摘要】采用EBSD取向成像技术研究了各工艺参数(功率、载荷、超声作用时间)对倒装键合组织及微织构的影响,并与对应的剪切性能值进行比较。结果表明,功率的影响最显著

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