容性耦合射频氩等离子体放电诊断研究及仿真模拟

容性耦合射频氩等离子体放电诊断研究及仿真模拟容性耦合射频氩等离子体放电诊断研究及仿真模拟摘要：氩等离子体技术在等离子体物理、材料科学、光电子学等领域有着广泛的应用。容性耦合射频氩等离子体放电是一种常用