ITO薄膜激光刻蚀设备匀光系统的Matlab实现

ITO薄膜激光刻蚀设备匀光系统的Matlab实现 　　摘 要:在简要分析目前激光微细加工系统中存在问题的基础上,设计一种能将能量呈高斯分布的激光束转变为类平顶光束的匀光系统。介绍匀光系统的机械结构和光