silvaco的学习心得

1.Sil‎vaco的‎各仿真组件‎均在Dec‎kBuil‎d中启动，‎包括结果由‎可视化工具‎Tonyp‎lot输出‎。主要组件‎包括以下 ‎三个： ‎ATHEN‎A ‎ 对工艺（‎淀积，离子