MEMS压力传感器的结构分析和温漂补偿系统设计研究的任务书

MEMS压力传感器的结构分析和温漂补偿系统设计研究的任务书任务书一、项目概述MEMS压力传感器是一种广泛应用于机械、航空、汽车等多个领域的微小化传感器。它可以通过微小电容的变化来测量压力变化。但是，随