钛氧薄膜表面等离子体浸没氨基化及Ln固定研究

钛氧薄膜表面等离子体浸没氨基化及Ln固定研究摘要本文针对钛氧薄膜表面进行等离子体浸没氨基化及Ln固定的研究。首先利用RF等离子体处理技术对钛氧薄膜表面进行改性处理，然后利用氨气水解反应对表面进行氨基化