电感式微位移测量仪的设计与实现

一、电感式微位移测量仪的概况1、课题研究意义及发展状况 无论是科学研究还是生产实践，需要进行位移测量的场合非常多，可用于位移测量的传感器的种类也很多，其中用于直线位移测量的有电阻式、电感式、电容