基于MEMS技术的三维电场传感器研究

基于MEMS技术的三维电场传感器研究摘要：本文主要研究了基于MEMS技术的三维电场传感器。首先介绍了MEMS技术以及传感器技术的发展现状和应用前景，然后探讨了三维电场传感器的工作原理和结构特点，接着讲