波长扩展(λ-1.7μm)InGaAs光电探测器及其应用

第十五届全田化合物半导体、傲波器件和光电器件掌术会议 TUE-GaAs／lnP．BOl (中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室．上海200050) 摘要：采用气态源分子束外延