直拉单晶操作规程
直拉单晶操作规程操 作 规 程 一、拆炉1: 准备 确认停炉冷却时间达5h,准备好钳子及取晶筐,向炉内充Ar气,确认炉内为常压时,副室门打开,关闭Ar 流量计启动液压,升起副室筒,稳住晶
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