堆叠系统中的无定形硅和氧化硅薄膜硅太阳能电池背面钝化

堆叠系统中的无定形硅和氧化硅薄膜硅太阳能电池背面钝化 堆栈的氢化非晶硅（a-Si）和化学气相沉积硅氧化物（）已被用作表面钝化层的硅晶片表面。很好的表面钝化能够达成，导致表面复合速度低于10cm/s 1