高纯冶金级硅衬底上制备微纳硅孔阵列太阳电池研究

高纯冶金级硅衬底上制备微纳硅孔阵列太阳电池研究摘要：本文研究了在高纯冶金级硅衬底上制备微纳硅孔阵列太阳电池。首先对太阳能电池的工作原理和微纳硅孔阵列技术进行了简要介绍，并从硅衬底的选择、硅衬底表面处理